脈沖激光沉積原理：

   靶面上，在足夠高的能量密度和足夠短的脈沖時間下，目標(biāo)表面吸收激光能量，快速提高溫度，將光斑溫度提高到目標(biāo)蒸發(fā)溫度，繼續(xù)利用激光束將靶區(qū)蒸發(fā)成高溫高密度等離子體；等離子體溫度和壓力迅速提高；并轟擊基片表面的薄膜。

脈沖激光沉積特點：

1.該復(fù)合材料化學(xué)組成復(fù)雜，涂層與涂層完全一致，可保證化學(xué)計量比的穩(wěn)定。較大的優(yōu)點是可以很容易地與目標(biāo)成分相一致，這是它區(qū)別于其他技術(shù)的主要標(biāo)志。

2.具有較高的沉積速率、較短的測試周期、較低的襯底溫度。

3.定向能力強(qiáng)，膜分辨率高，可形成微區(qū)沉積。

4.可任意調(diào)整工藝參數(shù)，使目標(biāo)無任何限制。

5.在生長過程中原位引入工藝氣體，引入活性或惰性和混合氣體，以改善膜的質(zhì)量。

6.易生長多層、異質(zhì)膜，特別是多氧化物異質(zhì)結(jié)構(gòu)；

7.在高真空狀態(tài)下局部蒸發(fā)沉積，對真空腔的污染較少。

脈沖激光沉積應(yīng)用

  脈沖激光沉積技術(shù)應(yīng)用廣泛。除了這種激光透明材料，幾乎所有的材料都可以用PLD生長膜。可用于制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物、氟化物、金剛石、立方氮化物薄膜等。

 以上就是小編為大家介紹的脈沖激光沉積的相關(guān)知識點，感謝大家耐心的閱讀！