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分子束外延特點及應(yīng)用

2022-02-17

分子束外延特點:

      (1)生長速度非常慢,約1um/小時,相當于每秒生長一個單原子層,有利于實現(xiàn)厚度、結(jié)構(gòu)和成分的準確控制,形成陡峭的異質(zhì)結(jié)構(gòu)。事實上,它是一種原子加工技術(shù),因此MBE特別適合超晶格材料的生長。

     (2)外延生長溫度低,降低了界面熱膨脹引入的晶格失配效應(yīng)和襯底雜質(zhì)對外延層自摻雜擴散的影響。

     (3)由于生長是在超高真空中進行的,襯底表面可以完全清潔,在延伸過程中可以避免污染,因此可以生長出高質(zhì)量的延伸層。在分子束延伸裝置中,通常有儀器來檢測表面結(jié)構(gòu)、成分和真空殘留氣體,可以隨時監(jiān)測延伸層的成分和結(jié)構(gòu)的完整性,有利于科學(xué)研究。

     (4)MBE是一個動力學(xué)過程。即將到來的中性粒子(原子或分子)一個接一個地堆積在基礎(chǔ)上,而不是熱力學(xué)過程。因此,它可以根據(jù)普通的熱平衡生長方法生長困難的薄膜。

     (5)MBE是一個超高真空的物理沉積過程。快門可以立即控制生長和中斷,無需考慮中間化學(xué)反應(yīng)或質(zhì)量傳輸。因此,膜的成分和混合濃度可以隨著源的變化而快速調(diào)整。

分子束外延的應(yīng)用:

       分子束延伸不僅可以用來制備大多數(shù)現(xiàn)有設(shè)備,還可以制備許多新設(shè)備,包括超晶格結(jié)構(gòu)高電子遷移率晶體管和多量子陷阱激光二極管,由原子尺度膜厚度控制。我們在公共汽車上看到的車站預(yù)告板和體育場上看到的超大顯示器是由分子束延伸制成的。

       以上是小編今日為大家介紹分子束外延的全部內(nèi)容,感謝您耐心的閱讀!

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