薄膜沉積是指物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)和原子層沉積設(shè)備。

原子層沉積設(shè)備是一種重要的膜沉積設(shè)備。由于ALD技術(shù)的表面化學(xué)反應(yīng)自限，具有優(yōu)異的三維共性，大面積膜的均勻性和準確的膜厚度控制。廣泛應(yīng)用于不同環(huán)境下的膜沉積。光伏、半導(dǎo)體、柔性電子、MEMS、催化劑、光學(xué)設(shè)備等高科技領(lǐng)域具有良好的工業(yè)前景。

近年來，我國原子層沉積設(shè)備下游產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，推動了原子層沉積設(shè)備市場的快速發(fā)展。

在光伏領(lǐng)域，在政策和人力資源的大力支持下，我國光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，具有成本優(yōu)勢。與此同時，中國自2010年以來一直是世界上較大的光伏設(shè)備市場。2020年，中國光伏設(shè)備行業(yè)規(guī)模超過280億元。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，中國正處于新一代智能手機、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、5g通信等行業(yè)快速崛起的過程中，成為世界上重要的半導(dǎo)體應(yīng)用和消費市場之一。2020年，中國集成電路行業(yè)銷量8.848億元，比2019年增長17%。2020年，受疫情影響，中國集成電路行業(yè)銷量仍在穩(wěn)步增長。

LCD和OLED是中國新顯示領(lǐng)域的主流顯示技術(shù)。隨著行業(yè)的不斷升級，Mini/MicroLED等新顯示技術(shù)的市場規(guī)模從中長期來看將迅速提升。

原子層沉積設(shè)備的設(shè)計和制造涉及化學(xué)、物理、工程等學(xué)科的跨境綜合應(yīng)用。ALD技術(shù)是一種特殊的真空薄膜沉積方法。因此，該行業(yè)對企業(yè)的技術(shù)實力、財務(wù)實力和團隊實力有較高的要求。在早期階段，中國的原子沉積設(shè)備主要由外國制造商壟斷。近年來，隨著當?shù)仄髽I(yè)研發(fā)和投資的不斷加強，當?shù)刂圃焐痰尼绕稹?/span>