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團(tuán)簇式沉積設(shè)備

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多功能Cluster團(tuán)簇式薄膜沉積/刻蝕系統(tǒng)MBE/PLD/ALD/ICP/RIE/Sputter/IBE/EBE

v  CLUSTER團(tuán)簇式系統(tǒng)描述

 多功能CLUSTER團(tuán)簇式系統(tǒng)等，支持8個(gè)工位子系統(tǒng)，全自動(dòng)傳輸樣品。



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